 |
|
|
|
|
 |
|
당사는 화학공업에서의 오랜 경험과 축적된 Know-how를 바탕으로 자체기술로 개발된 반도체용 고순도 황산을 생산하여 국내외 반도체 생산업체에 공급하고 있습니다. 당사제품은 자체 생산품인 고품질의 L-SO₃를 증발시킨 후 초순수에 흡수시켜 제조하며, 수차례 Micro Filter를 거쳐 Clean Room에서 완전 자동포장 됨으로써 완벽한 품질과 안정성을 보증합니다. 자체기술로 개발된 원료정제장치, 초순수 제조장치, 흡수 및 탈기장치, 충전장치, 제품용기 등은 엄격한 기준에 의해 선택되어 고품질을 보장하며, 자체 생산품인 L-SO₃를 원료로 사용한 일관생산공정은 경쟁사 대비 가격경쟁력 우위를 확보케 함으로써 당사제품이 국내는 물론 해외에서도 호평받는 계기가 되었습니다. 고청정 환경의 Clean Room에서 운전되는 자동화된 포장설비 (Class 10) , 최신식 분석장비에 의한 축적된 분석 Know-how는 당사 품질보증체계의 수준을 한층 돋보이게 하는 또다른 자랑거리입니다. | |
|
|
|
| |
|
 |
 |
분자식 : H2SO4 |
|
분자량 : 98 |
|
비중 : 1.84 (15/4℃) |
|
점도 : 23.9 cP (96%, 20℃) |
|
응고점 : -6.9℃ (97%), -21.7℃ (96%) |
|
전기 전도도 : 0.0555 Ω-1×㎝-1 (98%,15.6℃) | |
|
 |
|
반도체 Wafer Etching 및 Cleaning 용 |
|
Photomask 제조용 |
|
기타 | |
|
 |
|
|
| 5ℓ Bottle |
8 kg |
HDPE (High Density Polyethylene) |
|
| 20ℓ Bottle |
30 kg |
HDPE |
|
| 200ℓ Bottle |
350 kg |
HDPE |
|
| 6㎥, 12㎥ Tank-lorry |
10 Ton, 20 Ton |
- Internal : PTFE
- External : Stainless Steel |
| |
|
 |
|
FL-A.A.S (Flameless Atomic Absorption Spectrometer) |
|
UV / VIS (Ultra Violet / Visible Spectrophotometer) |
|
I.C.P. - Mass (Inductively Coupled Plasma - Mass) |
|
Particle Counter (제품용 및 Clean Room 용) | |
|
 |
|
|
| H2SO4 |
% |
96~96.5 |
96~96.5 |
96~96.5 |
96~96.5 |
조정가능 |
|
| COLOR |
APHA |
5 |
5 |
5 |
5 |
|
|
| IG-RE |
ppm |
<0.1 |
<0.1 |
<0.1 |
<0.1 |
|
|
| Cl |
ppm |
<0.1 |
<0.1 |
<0.05 |
<0.05 |
|
|
| NO₃ |
ppm |
<0.1 |
<0.1 |
<0.1 |
<0.1 |
|
|
| PO₄ |
ppm |
<0.2 |
<0.2 |
<0.1 |
<1.0 |
|
|
| NH₄ |
ppm |
<1.0 |
<1.0 |
<1.0 |
<1.0 |
|
|
| SO₂ |
ppm |
<1.0 |
<1.0 |
<1.0 |
<0.1 |
|
|
| Al |
ppb |
<1.0 |
<0.5 |
<0.3 |
<0.1 |
|
|
| As |
ppb |
<1.0 |
<0.5 |
<0.1 |
<0.1 |
|
|
| Ba |
ppb |
<1.0 |
<0.5 |
<0.1 |
<0.1 |
|
|
| Be |
ppb |
<1.0 |
<0.5 |
<0.1 |
<0.1 |
|
|
| B |
ppb |
<1.0 |
<0.5 |
<0.1 |
<0.1 |
|
|
| Cd |
ppb |
<1.0 |
<0.5 |
<0.1 |
<0.1 |
|
|
| Ca |
ppb |
<1.0 |
<0.5 |
<0.5 |
<0.1 |
|
|
| Cr |
ppb |
<1.0 |
<0.5 |
<0.1 |
<0.1 |
|
|
| Co |
ppb |
<1.0 |
<0.5 |
<0.1 |
<0.1 |
|
|
| Cu |
ppb |
<1.0 |
<0.5 |
<0.1 |
<0.1 |
|
|
| Ga |
ppb |
<1.0 |
<0.5 |
<0.1 |
<0.1 |
|
|
| Ge |
ppb |
<1.0 |
<0.5 |
<0.1 |
<0.1 |
|
|
| Au |
ppb |
<1.0 |
<0.5 |
<0.1 |
<0.1 |
|
|
| Fe |
ppb |
<1.0 |
<0.5 |
<0.5 |
<0.1 |
|
|
| Pb |
ppb |
<1.0 |
<0.5 |
<0.1 |
<0.1 |
|
|
| Li |
ppb |
<1.0 |
<0.5 |
<0.1 |
<0.1 |
|
|
| Mn |
ppb |
<1.0 |
<0.5 |
<0.1 |
<0.1 |
|
|
| Mg |
ppb |
<1.0 |
<0.5 |
<0.1 |
<0.1 |
|
|
| Ni |
ppb |
<1.0 |
<0.5 |
<0.2 |
<0.1 |
|
|
| K |
ppb |
<1.0 |
<0.5 |
<0.3 |
<0.1 |
|
|
| Si |
ppb |
<1.0 |
<0.5 |
<0.1 |
<0.1 |
|
|
| Hg |
ppb |
<1.0 |
<0.5 |
<0.1 |
<0.1 |
|
|
| Ag |
ppb |
<1.0 |
<0.5 |
<0.1 |
<0.1 |
|
|
| Na |
ppb |
<1.0 |
<0.5 |
<0.5 |
<0.1 |
|
|
| Sr |
ppb |
<1.0 |
<0.5 |
<0.1 |
<0.1 |
|
|
| Sn |
ppb |
<1.0 |
<0.5 |
<0.1 |
<0.1 |
|
|
| Zn |
ppb |
<1.0 |
<0.5 |
<0.1 |
<0.1 |
|
|
| PARTICLE (>0.5㎛) |
EA/㎖ |
|
|
<5 |
<5 |
|
|
| PARTICLE (>0.3㎛) |
EA/㎖ |
|
|
<20 |
<20 |
|
|
| PARTICLE (>0.2㎛) |
EA/㎖ |
<200 |
<100 |
<100 |
<50 |
|
| |
|
 |
|
|
Home > 제품정보 > 화성 > 반도체용 고순도 황산
